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基礎信息Product information

產(chǎn)品名稱(chēng):德?tīng)柛?Polytron 3500 電化學(xué)式有毒氣體監測儀

產(chǎn)品型號:Polytron 3500

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

半導體工業(yè)的氣體監測專(zhuān)家---德?tīng)柛馪olytron3500基于裂解原理,用于連續監測環(huán)境中的毒氣如NF3,和氟化物如C4F6, C5F8。Polytron3500變送器集所有必要功能位一體,如氣體采樣,處理和分析。

產(chǎn)品特性Product characteristics

德?tīng)柛?Polytron 3500 有毒氣體監測儀

半導體工業(yè)的氣體監測專(zhuān)家---德?tīng)柛馪olytron3500基于裂解原理,用于連續監測環(huán)境中的毒氣如NF3,和氟化物如C4F6, C5F8。Polytron3500變送器集所有必要功能位一體,如氣體采樣,處理和分析。

選擇性監測

選擇合適的熱解爐內部溫度和合適的傳感器,可對三氟化氮 NF3 或 氟化/氯化有機化合物(如 C4F6、C5F8 和其它 PFC)進(jìn)行選擇性監測。

使用方便

該熱解器基本無(wú)需操作上的設置或調整。 4 至 20 mA 輸出信號外加特殊狀態(tài)信號可直接連至另一系統做進(jìn)一步信號處理。

安裝快速而簡(jiǎn)單

分體式設計理念——由安裝基座和變送器主機構成,可以節省時(shí)間和成本?;梢灶A先安裝。 設備試運轉時(shí),主機可通過(guò)插鎖方式與基座連接,預熱過(guò)后即可投入運行。

測量結果可靠

采用zui前沿電子技術(shù)以及全屏蔽金屬外殼,使得德?tīng)柛褡兯推骶哂械目股漕l干擾性能。內置泵和高溫裂解爐持久耐用,能夠長(cháng)期可靠運行。分流系統采用無(wú)干擾測量模式(針對常規流速0.5-1.5l/min)。

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